纳米级运动轨迹规划和控制

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纳米级运动轨迹规划和控制

微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-09-11

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- 纳米级运动轨迹规划和控制
- Trajectory planning scheme for ultra-precision system
- 李爱琳，李璟
- 光学精密工程 2023年31卷第17期页码：2534-2545
- 作者机构：
  1.中国科学院微电子研究所，北京 100029
  2.中国科学院大学，北京 100049
- 作者简介：
  李爱琳（1998-），女，四川成都人，博士研究生，2019年于北京邮电大学获得学士学位，主要从事精密测量控制技术的研究。E-mail： liailin@ime.ac.cn
  李璟（1980-），女，博士，研究员，博士生导师，曾于东南大学、荷兰莱顿大学及埃因霍芬理工大学分别获得学士、硕士和博士学位，现在中国科学院微电子研究所室主任，主要从事光刻相关精密测量控制技术、系统控制与集成等方向的研究。E-mail： lijing2018@ime.ac.cn
- 基金信息：
  国家科技重大专项(2018ZX02101005)
- DOI： 10.37188/OPE.20233117.2534
  中图分类号：
- 修回：2023-02-20 ，
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