三自由度压电偏摆台耦合迟滞模型建模与逆补偿

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三自由度压电偏摆台耦合迟滞模型建模与逆补偿

微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-09-11

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- 三自由度压电偏摆台耦合迟滞模型建模与逆补偿
- Coupled hysteresis model and its inverse compensation for three-degree-of-freedom tip-tilt-piston piezoelectric stage
- 司马津甫，赖磊捷，李朋志，方宇，朱利民
- 光学精密工程 2023年31卷第20期页码：2964-2974
- 作者机构：
  1.上海工程技术大学机械与汽车工程学院，上海 201620
  2.格鲁斯特大学计算与工程学院，英国切尔滕纳姆 GL50 2RH
  3.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林长春 130033
  4.上海交通大学机械与动力工程学院机械系统与振动国家重点实验室，上海 200240
- 作者简介：
  司马津甫（1999-），男，辽宁丹东人，硕士研究生，2021年于南京航空航天大学获得本科学位，主要从事微纳米定位技术方面的研究。E-mail： smajinfu@163.com
  赖磊捷（1984-），男，浙江宁波人，博士，副教授，2014年于上海交通大学获得博士学位，主要从事微位移驱动控制、微纳制造装备等领域的研究。E-mail： lailj@sues.edu.cn
- 基金信息：
  国家自然科学基金联合基金重点支持项目(U2013211);国家自然科学基金青年科学基金项目(51605275);上海自然科学基金资助项目(21ZR1426000);机械系统与振动国家重点实验室课题资助项目(MSV202210)
- DOI： 10.37188/OPE.20233120.2964
  中图分类号：
- 修回：2023-07-04 ，
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