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二维线性模组空间运动误差实时测量
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-09-11
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    • 二维线性模组空间运动误差实时测量

    • Real-time spatial error measurement of two-dimensional linear module

    • 娄志峰 ，张汉平 ，周竞杰 ，张记云 ，钱钧 ，范光照
    • 光学精密工程 2023年31卷第21期 页码：3111-3124

    • DOI： 10.37188/OPE.20233121.3111     

      中图分类号：

    • 修回：2023-04-04 ，

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