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基于光谱共焦探针的Wolter-I型X射线显微镜芯轴高精度检测
现代应用光学 | 更新时间：2026-09-11
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    • 基于光谱共焦探针的Wolter-I型X射线显微镜芯轴高精度检测

    • High-precision measurement of Wolter-I mandrel for X-ray microscopy by using double confocal probes

    • “Wolter型X射线显微镜具有高分辨率和集光区域，在先进光源和高能激光器中有重要的应用价值，研究团队搭建了基于光谱共焦探针的离线检测装置，将测量误差PV值降低至23 nm，为Wolter型芯轴高精度检测提供了新方案。”
    • 薛春安 ，余俊 ，盛鹏峰 ，王豪杰 ，王占山 ，王东方
    • 光学精密工程 2024年32卷第13期 页码：2004-2016

    • DOI： 10.37188/OPE.20243213.2004     

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    • 修回：2024-03-15 ，

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