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非同轴并行彩色共聚焦测量系统表面倾斜角度误差分析及校正
现代应用光学 | 更新时间：2026-09-11
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    • 非同轴并行彩色共聚焦测量系统表面倾斜角度误差分析及校正

    • Error analysis and correction of surface inclination angle of non-coaxial parallel chromatic confocal measurement system

    • “针对非同轴式并行彩色共聚焦测量系统在被测物表面倾斜时存在的测量误差，提出了一种误差补偿方法，研究人员建立了倾斜表面误差补偿体系，为解决精密测量中的倾斜误差问题提供解决方案。”
    • 李姝姝 ，余卿 ，张耀祖 ，张伟 ，王寅 ，刘婷 ，郑伟峰 ，李丽娜
    • 光学精密工程 2024年32卷第13期 页码：2040-2051

    • DOI： 10.37188/OPE.20243213.2040     

      中图分类号：

    • 修回：2024-03-09 ，

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