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微型阵列束闸设计与实验
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-09-11
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    • 微型阵列束闸设计与实验

    • Design and experiment of micro-arrayed beam blanker

    • “研究人员成功制备3×3微型阵列束闸并验证其控制功能，"该阵列束闸已经具备多束电子束开关控制功能，但在偏转精度，设计和加工工艺等方面还需进一步优化和完善"，为多束电子束曝光技术发展奠定了基础。”
    • 张利新 ，孙博彤 ，刘星云 ，殷伯华 ，刘俊标 ，韩立
    • 光学精密工程 2024年32卷第13期 页码：2061-2069

    • DOI： 10.37188/OPE.20243213.2061     

      中图分类号：

    • 修回：2024-06-19 ，

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相关作者

韩立
刘俊标
殷伯华
刘星云
孙博彤
张利新
舒志文
曾沛

相关机构

中国科学院 电工研究所 微纳加工技术与智能电气设备研究部
季华实验室
湖南大学 机械与运载工程学院 国家高效磨削工程技术研究中心
中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所
中国科学院大学