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基于激光干涉的多轴运动平台垂直度测量
精密测量与传感 | 更新时间：2026-09-11
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    • 基于激光干涉的多轴运动平台垂直度测量

    • Perpendicularity measurement of multi-axis motion platform based on laser interferometry

    • “研究团队提出了一种基于激光干涉仪原理的多轴运动平台垂直度在线测量方法，利用激光器、五角分光棱镜、五角棱镜、直线度干涉镜、直线度反射镜等组件构建了一种多轴激光干涉垂直度测量装置，为解决传统测量方法操作繁琐、成本高昂及无法在线测量等问题提供了新方案，经与花岗石角尺比对测试验证，偏差仅1.4″，证明了方案的可行性。”
    • 罗凯元 ，郑文炜 ，杨霖
    • 光学精密工程 2024年32卷第17期 页码：2654-2662

    • DOI： 10.37188/OPE.20243217.2654     

      中图分类号：

    • 修回：2024-03-18 ，

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