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基于近远场结合的微结构调制像差仿真
现代应用光学 | 更新时间：2026-09-11
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    • 基于近远场结合的微结构调制像差仿真

    • Simulation of sample induced aberration for microstructure based on near-far fields

    • “基于光学成像原理的低相干显微干涉能够有效重建微结构表面的三维形貌，然而在测量高深宽比结构底部形貌的过程中探测光会受到结构调制产生波前畸变，导致测量失败，研究人员提出一种近远场结合的像差仿真方法，采用时域有限差分法计算探测光场调制过程，再通过带限缩放角谱法传递至远场实现调制像差计算，为解决高深宽比微结构测量中的像差校正问题提供了高效解决方案。”
    • 鲍帅 ，高志山 ，霍霄 ，刘秋言 ，乔文佑 ，杨文卓 ，袁群 ，郭珍艳
    • 光学精密工程 2025年33卷第5期 页码：716-727

    • DOI： 10.37188/OPE.20253305.0716     

      中图分类号：
    • CSTR： 32169.14.OPE.20253305.0716     

    • 修回：2025-01-18 ，

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