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多束电子源设计与实验
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-09-11
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    • 多束电子源设计与实验

    • Design and experiment of multi-beam electron source

    • “研究团队开发了基于肖特基阴极的多束电子源系统，"搭建了多束电子源测试平台并进行了多束电子源的准直、分束与聚焦性能验证"，为扫描电子显微镜等单电子束设备的高通量应用提供了解决方案。”
    • 赵伟霞 ，白凌超 ，张利新 ，刘俊标 ，殷伯华 ，韩立
    • 光学精密工程 2025年33卷第5期 页码：741-750

    • DOI： 10.37188/OPE.20253305.0741     

      中图分类号：
    • CSTR： 32169.14.OPE.20253305.0741     

    • 修回：2025-01-06 ，

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