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基于双棱镜的全视场外差干涉测量
基于双棱镜的全视场外差干涉测量
Full-field heterodyne dynamic interferometric measurement with double-prism configuration
- “基于双棱镜新型干涉仪构型,介绍了其在高精度动态干涉测量领域的研究进展,研究团队建立了全视场外差干涉测量体系,验证了该构型无混频因素且寄生波显著降低,为解决低反射率元件测量精度问题提供解决方案。”
- 光学精密工程 2025年33卷第7期 页码:1019-1030
DOI: 10.37188/OPE.20253307.1019
- CSTR: 32169.14.OPE.20253307.1019
修回:2025-02-10
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中国科学院 计算光学成像技术重点实验室
天津大学 精密测试技术及仪器全国重点实验室
北京空间机电研究所
中国计量科学研究院 时间频率计量科学所
中国科学院 光电研究院 计算光学成像技术重点实验室


