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基于频域滤波面形的毫米级束径离子束驻留时间补偿
微纳技术与精密机械 | 更新时间:2026-09-11
    • 基于频域滤波面形的毫米级束径离子束驻留时间补偿

    • Dwell time compensation for millimeter spot-sized ion beam figuring based on frequency-domain filtered surface

    • “毫米级束径离子束加工收敛率分析及优化研究取得进展,研究团队提出基于多频段面形"贝壳纹"加工程度的修形能力分析方法,通过分析均方根密度的频域分布特性与各频段的收敛率、不同周期面形幅值的加工结果,量化评估细束径去除函数的跨频段误差修正能力,为解决高精度光学元件全频段误差一致性收敛问题提供解决方案。”
    • 卞萌 ,胡海翔 ,唐瓦 ,季鹏 ,张学军
    • 光学精密工程 2025年33卷第11期 页码:1739-1749
    • DOI: 10.37188/OPE.20253311.1739     

      中图分类号:
    • CSTR: 32169.14.OPE.20253311.1739     
    • 修回:2025-04-22 ,

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相关作者

胡海翔
张峰
毛旭
吴勇波
郭会茹
陆政凯
张鑫泉
朱利民

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武汉理工大学 现代汽车零部件技术湖北省重点实验室
南方科技大学 机械与能源工程系
上海交通大学 机械与动力工程学院
国防科技大学 机电工程与自动化学院 超精密加工技术湖南省重点实验室
国防科技大学 机电工程与自动化学院 精密工程实验室