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全息曝光干涉条纹相位锁定系统设计
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-09-11
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    • 全息曝光干涉条纹相位锁定系统设计

    • Design of holographic exposure interference fringe phase locking system

    • “研究团队设计了全息光栅干涉条纹相位锁定系统，实现了1 kHz控制频率，对0~3 Hz低频漂移有良好抑制效果，为大尺寸光栅制造提供了稳定性解决方案。”
    • 王起程 ，王新宇 ，于宏柱 ，姜岩秀 ，李文昊
    • 光学精密工程 2025年33卷第13期 页码：2056-2065

    • DOI： 10.37188/OPE.20253313.2056     

      中图分类号：
    • CSTR： 32169.14.OPE.20253313.2056     

    • 修回：2025-04-02 ，

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中国科学院 上海技术物理研究所
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中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所
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