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平面光栅刻划机微定位系统压电校正技术
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-09-11
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    • 平面光栅刻划机微定位系统压电校正技术

    • Micro-positioning error monitoring and piezoelectric correction of plane grating ruling machine

    • “针对平面光栅刻划机压电陶瓷驱动器的迟滞非线性特性引发的微定位精度下降问题，介绍了其在高密度光栅制备领域的研究进展，研究团队建立了基于分段Prandtl-Ishlinskii模型的复合控制误差补偿体系，光栅刻线定位误差由±20 nm降至±10 nm以内，为光栅刻划分度定位误差校正提供了可靠技术支撑。”
    • 杨春吉 ，李文昊 ，于宏柱 ，姚雪峰 ，张博 ，于硕
    • 光学精密工程 2025年33卷第14期 页码：2220-2230

    • DOI： 10.37188/OPE.20253314.2220     

      中图分类号：
    • CSTR： 32169.14.OPE.20253314.2220     

    • 修回：2025-04-29 ，

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中国石油大学 控制科学与工程学院