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超声辅助机器人抛光硫化锌材料去除机理及工艺优化
微纳技术与精密机械 | 更新时间:2026-09-11
    • 超声辅助机器人抛光硫化锌材料去除机理及工艺优化

    • Material removal mechanism and process optimization of ultrasonic-assisted robot polishing for zinc sulfide

    • “研究团队构建了硫化锌超声辅助抛光理论与工艺体系,通过修正材料去除模型并验证,实现了表面粗糙度Sa降至1.782 nm、面形精度PV值降至0.149λ的高品质加工效果,为硬脆光学元件精密制造提供了解决方案。”
    • 王志 ,朱德清 ,王雪 ,罗皓麒 ,臧艺凯 ,刘浩然 ,马善意 ,肖峻峰 ,张建国
    • 光学精密工程 2025年33卷第17期 页码:2754-2764
    • DOI: 10.37188/OPE.20253317.2754     

      中图分类号:
    • CSTR: 32169.14.OPE.20253317.2754     
    • 修回:2025-08-02 ,

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