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超声辅助机器人抛光硫化锌材料去除机理及工艺优化
超声辅助机器人抛光硫化锌材料去除机理及工艺优化
Material removal mechanism and process optimization of ultrasonic-assisted robot polishing for zinc sulfide
- “研究团队构建了硫化锌超声辅助抛光理论与工艺体系,通过修正材料去除模型并验证,实现了表面粗糙度Sa降至1.782 nm、面形精度PV值降至0.149λ的高品质加工效果,为硬脆光学元件精密制造提供了解决方案。”
- 光学精密工程 2025年33卷第17期 页码:2754-2764
DOI: 10.37188/OPE.20253317.2754
- CSTR: 32169.14.OPE.20253317.2754
修回:2025-08-02
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特种光学玻璃材料技术创新中心
湖北工业大学 机械工程学院
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天津大学 精密测试技术及仪器国家重点实验室



