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跨尺度微纳米三坐标测量机研制及误差分析
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-09-11
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    • 跨尺度微纳米三坐标测量机研制及误差分析

    • Development and error analysis of cross-scale micro-nano coordinate measuring machine

    • “新型跨尺度微纳米三坐标测量机研制成功，采用独立三维阿贝原则计量系统布局，既消除了运动系统对计量系统的影响，又避免阿贝误差，实现亚微米三维测量精度，为解决大行程运动与高精度测量矛盾提供解决方案。”
    • 黄强先 ，刘慧洁 ，张祖杨 ，李红莉 ，程荣俊 ，张连生 ，李瑞君
    • 光学精密工程 2025年33卷第19期 页码：3058-3069

    • DOI： 10.37188/OPE.20253319.3058     

      中图分类号：
    • CSTR： 32169.14.OPE.20253319.3058     

    • 修回：2025-07-28 ，

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