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基于灵敏度矩阵的高阶非球面自动干涉检测
现代应用光学 | 更新时间：2026-09-11
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    • 基于灵敏度矩阵的高阶非球面自动干涉检测

    • Automatic null testing of high-order aspheric surfaces based on sensitivity matrix

    • “高阶非球面高精度干涉检测是超精密光学加工的关键环节，研究团队基于刚体运动学与Fringe Zernike像差理论建立了五自由度灵敏度函数体系，提出加权最小二乘反演策略，将光路失调RMS误差从0.113λ降至0.004λ，为高阶非球面批量化干涉检测提供了高效可靠的解决方案。”
    • 郭乃泉 ，周满 ，张鑫 ，李明茁 ，胡海翔 ，薛栋林
    • 光学精密工程 2026年34卷第9期 页码：1400-1410

    • DOI： 10.37188/OPE.20263409.1400     

      中图分类号：
    • CSTR： 32169.14.OPE.20263409.1400     

    • 修回：2026-03-19 ，

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