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高频超声-快刀伺服复合加工及工艺验证
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2026-09-11
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    • 高频超声-快刀伺服复合加工及工艺验证

    • High-frequency ultrasonic-fast tool servo integrated machining and process verification

    • “高频椭圆振动切削与快刀伺服技术相结合，实现了制造精度和效率的双提升，为解决难加工材料表面复杂微结构的高效超精密加工提供了一种有效的技术途径。”
    • 王勋 ，王峥 ，郑云祥 ，刘伯林 ，朱岩
    • 光学精密工程 2026年34卷第11期 页码：1732-1742

    • DOI： 10.37188/OPE.20263411.1732     

      中图分类号：
    • CSTR： 32169.14.OPE.20263411.1732     

    • 修回：2026-04-27 ，

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相关机构

上海交通大学 机械与动力工程学院
吉林大学 机械与航空航天工程学院
南京理工大学 机械工程学院
同济大学 物理科学与工程学院 精密光学工程技术研究所，先进微结构材料教育部重点实验室，上海市数字光学前沿科学研究基地，上海市全光谱高性能光学薄膜器件与 应用专业技术服务平台
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