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全息光栅制作中光栅掩模槽形形状随光刻胶特性曲线的演化规律
全息光栅制作中光栅掩模槽形形状随光刻胶特性曲线的演化规律
Groove profile evolution of grating masks for different photoresist response curves in fabrication of holographic gratings
- 光学精密工程 2012年20卷第11期 页码：2380-2388
DOI： 10.3788/OPE.20122011.2380
修回：2012-6-16
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