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长春光机所深紫外光学薄膜技术研究进展
长春光机所深紫外光学薄膜技术研究进展
Developments of DUV coating technologies in CIOMP
- 光学精密工程 2012年20卷第11期 页码:2395-2401
DOI: 10.3788/OPE.20122011.2395
修回:2012-9-25
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相关作者
王丽辉
黄伟
张云洞
相关机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
中国科学院光电技术研究所, 双流


