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衍射光栅刻划机的闭环控制系统
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2020-08-12
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    • 衍射光栅刻划机的闭环控制系统

    • Closed-loop control system for diffraction grating ruling machine

    • 蔡锦达 ，王英 ，颜廷萌 ，秦绪祥 ，王亮
    • 光学精密工程 2012年20卷第11期 页码：2416-2423

    • DOI： 10.3788/OPE.20122011.2416     

      中图分类号：

    • 修回：2012-7-2 ，

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