您当前的位置：
首页 >
文章列表页 >
双波长集成光栅干涉微位移测量方法
双波长集成光栅干涉微位移测量方法
Displacement measurement method based on integrated grating interferometry with two-wavelength lasers
- 光学精密工程 2012年20卷第11期 页码：2433-2438
DOI： 10.3788/OPE.20122011.2433
修回：2012-6-27
移动端阅览
HTML全文
参考文献
出版信息
数据统计
277
浏览量
936
下载量
0
CSCD
文章被引用时，请邮件提醒。
提交
工具集
- BibTeX下载
- Endnote下载
- RefMan 下载
- NoteExpress下载
- NoteFirst下载
相关文章
集成双光栅干涉微梁位移测量方法
涡旋光干涉精密位移测量技术：进展、挑战与展望
微型高精度光栅位移传感器设计及误差补偿
基于卡尔曼滤波的激光外差干涉位移测量误差补偿
超精密空间分离式外差利特罗平面光栅编码器位移测量系统
相关作者
冯金扬
叶雄英
陈烽
商院芳
任凯利
杜艺
段玉婷
徐咏
相关机构
清华大学 精密仪器与机械学系 精密测试技术及仪器国家重点实验室
中国科学院 西安光学精密机械研究所 超快光科学与技术全国重点实验室
西安邮电大学 电子工程学院
重庆大学 光电工程学院 光电技术及系统教育部重点实验室
浙江理工大学 信息科学与工程学院
AI问答
