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基准圆光栅偏心检测及测角误差补偿
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2020-08-12
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    • 基准圆光栅偏心检测及测角误差补偿

    • Eccentric testing of benchmark circular grating and compensation of angular error

    • 艾晨光 ，褚明 ，孙汉旭 ，张延恒 ，叶平
    • 光学精密工程 2012年20卷第11期 页码：2479-2484

    • DOI： 10.3788/OPE.20122011.2479     

      中图分类号：

    • 修回：2012-8-30 ，

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