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微机电可调硅基三族氮化物光栅
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2020-08-13
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    • 微机电可调硅基三族氮化物光栅

    • MEMS-tunable Ⅲ-nitride grating on silicon substrate

    • 李欣 ，施政 ，贺树敏 ，高绪敏 ，张苗 ，王永进
    • 光学精密工程 2014年22卷第11期 页码：2945-2949

    • DOI： 10.3788/OPE.20142211.2945     

      中图分类号：

    • 修回：2013-12-27 ，

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