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用电镀铜锡合金薄膜实现圆片级气密封装
微纳技术与精密机械 | 更新时间:2020-08-13
    • 用电镀铜锡合金薄膜实现圆片级气密封装

    • Wafer level hermetic packaging based on electroplating Cu-Sn alloy films

    • 杜利东 ,赵湛 ,方震 ,孙学金 ,王晓蕾
    • 光学精密工程 2014年22卷第11期 页码:3044-3049
    • DOI: 10.3788/OPE.20142211.3044     

      中图分类号:
    • 修回:2014-4-17 ,

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