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用电镀铜锡合金薄膜实现圆片级气密封装
用电镀铜锡合金薄膜实现圆片级气密封装
Wafer level hermetic packaging based on electroplating Cu-Sn alloy films
- 光学精密工程 2014年22卷第11期 页码:3044-3049
DOI: 10.3788/OPE.20142211.3044
修回:2014-4-17
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