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多轴亚微米级平面定位台的滑模观测器无传感控制
多轴亚微米级平面定位台的滑模观测器无传感控制
Sensorless control of sliding mode observer for multi-DOF submicron-order planar motion stage
- 光学精密工程 2014年22卷第11期 页码：3067-3073
DOI： 10.3788/OPE.20142211.3067
修回：2014-2-25
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