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氮气反应溅射制备软X射线Co/Ti多层膜
氮气反应溅射制备软X射线Co/Ti多层膜
Preparation of Co/Ti multilayer in soft X-ray region by nitrogen reactive sputtering
- 光学精密工程 2015年23卷第1期 页码：10-14
DOI： 10.3788/OPE.20152301.0010
修回：2014-4-24
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王占山
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相关机构
同济大学 物理科学与工程学院，先进微结构材料教育部重点实验室，精密光学工程技术研究所
大连理工大学 宁波研究院
大连理工大学 机械工程学院
重庆大学 光电工程学院
北京卫星环境工程研究所
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