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大口径非球面光学研抛压力控制系统
大口径非球面光学研抛压力控制系统
Polishing pressure control system for large caliber aspherical optics
- 光学精密工程 2015年23卷第4期 页码：1019-1026
DOI： 10.3788/OPE.20152304.1019
修回：2014-9-25
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