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高数值孔径投影光刻物镜波像差的自动平衡优化
高数值孔径投影光刻物镜波像差的自动平衡优化
Automatic balancing of wavefront aberrations in high-numerical aperture lithographic lenses
- 光学精密工程 2015年23卷第8期 页码：2143-2148
DOI： 10.3788/OPE.20152308.2143
修回：2014-9-30
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