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气囊抛光过程的运动精度控制
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2020-08-12
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    • 气囊抛光过程的运动精度控制

    • Motion-precision control in bonnet-polishing

    • 王飞 ，张健 ，彭利荣 ，王高文 ，隋永新
    • 光学精密工程 2015年23卷第8期 页码：2220-2228

    • DOI： 10.3788/OPE.20152308.2220     

      中图分类号：

    • 修回：2014-9-30 ，

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