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光纤石英玻璃基板微V槽阵列的精密磨削
光纤石英玻璃基板微V槽阵列的精密磨削
Precision grinding of micro V-groove array on optical fiber quartz glass substrate
- 光学精密工程 2015年23卷第8期 页码：2243-2249
DOI： 10.3788/OPE.20152308.2243
修回：2015-2-12
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