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堆叠型压电执行器的动态蠕变补偿
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2020-08-12
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    • 堆叠型压电执行器的动态蠕变补偿

    • Compensation for dynamic creep of stack piezoelectric actuator

    • 张承进 ，刘红波 ，赵学良
    • 光学精密工程 2015年23卷第8期 页码：2273-2279

    • DOI： 10.3788/OPE.20152308.2273     

      中图分类号：

    • 修回：2015-2-6 ，

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