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高速精密定位平台振动误差补偿
高速精密定位平台振动误差补偿
Vibration error compensation of high speed and high precision positioning platform
- 光学精密工程 2015年23卷第10z期 页码：328-334
DOI： 10.3788/OPE.20152313.0328
修回：2015-6-10
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