计量线5~140 nm波段高次谐波分布及其抑制

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计量线5~140 nm波段高次谐波分布及其抑制

现代应用光学 | 更新时间：2020-08-13

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- 计量线5~140 nm波段高次谐波分布及其抑制
- Distribution and suppression of higher-order harmonics of metrology beamline in 5~140 nm
- 周洪军，夏玄志，霍同林，郑津津
- 光学精密工程 2016年24卷第7期页码：1550-1556
- 作者机构：
  1.中国科学技术大学国家同步辐射实验室, 安徽合肥 230029
  2.中国科学技术大学精密机械与精密仪器系, 安徽合肥 230027
- 作者简介：
  周洪军(1963-), 女, 辽宁黑山人, 博士, 高级工程师, 1985年于东北大学获得学士学位, 1999年于中英格兰大学获得硕士学位, 2006年于中国科学技术大学获得博士学位, 主要从事同步辐射光谱计量和超高真空系统设计等方面的研究。E-mail:hjzhou@ustc.edu.cn E-mail:hjzhou@ustc.edu.cn
  夏玄志(1990-), 男, 安徽泗县人, 硕士研究生, 2012年于合肥工业大学获得学士学位, 主要从事计量线高次谐波及其抑制的研究。E-mail:xxzhi055@mail.ustc.edu.cn
- 基金信息：
  国家自然科学基金面上项目大科学装置联合基金资助项目(U1332130);国家973重点基础研究发展计划资助项目(2014CB931804);111引智工程资助项目(B07033)
- DOI： 10.3788/OPE.20162407.1550
  中图分类号：
- 录用：2016-4-29 ，
- 稿件说明：
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