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小型化硅微谐振式加速度计的实现与性能测试
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2020-07-07
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    • 小型化硅微谐振式加速度计的实现与性能测试

    • Implementation and measurement of a miniaturized silicon resonant accelerometer

    • 赵健 ，施芹 ，夏国明 ，裘安萍 ，吴志强 ，苏岩
    • Editorial Office of Optics and Precision Engineeri 2016年24卷第8期 页码：1927-1933

    • DOI： 10.3788/OPE.20162408.1927     

      中图分类号：

    • 录用：2016-3-15 ，

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