纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测

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现代应用光学 | 更新时间：2020-07-07

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- 纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测
- Online detection of profile deviation for nano precision 2-D stage mirror
- 刘兆武，李文昊，王敬开，姜珊，宋莹，潘明忠，巴音贺希格
- 光学精密工程 2016年24卷第9期页码：2134-2141
- 作者机构：
  1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林长春 130033
  2.中国科学院大学, 北京 101408
  3.北京航空航天大学, 北京 100191
- 作者简介：
  刘兆武(1987-), 男, 黑龙江齐齐哈尔人, 博士研究生, 2006年于哈尔滨工业大学获得学士学位, 主要从事全息曝光系统制作和精密位移测量等方面的研究。E-mail:zhaowuliu@hotmail.com
  巴音贺希格(1962-), 男, 内蒙古鄂尔多斯人, 博士, 研究员, 博士生导师, 2004年于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所获得博士学位, 主要从事光栅理论、光栅制作技术及光谱技术的研究。E-mail:bayin888@sina.com E-mail:bayin888@sina.com
- 基金信息：
  国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(61227901)
- DOI： 10.3788/OPE.20162409.2134
  中图分类号：
- 录用：2016-2-6 ，
- 稿件说明：
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