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被测件随机移相干涉面形测量方法
现代应用光学 | 更新时间：2020-07-07
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    • 被测件随机移相干涉面形测量方法

    • Surface measurement by randomly phase shifting interferometry of measured element

    • 赵维谦 ，李文宇 ，赵齐 ，邱丽荣 ，王允
    • 光学精密工程 2016年24卷第9期 页码：2167-2172

    • DOI： 10.3788/OPE.20162409.2167     

      中图分类号：

    • 录用：2016-6-14 ，

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