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变耦型时栅传感器及测头姿态对测量误差的影响
变耦型时栅传感器及测头姿态对测量误差的影响
Variable coupling time grating sensor and effects of sensor-head attitudes on measuring errors
- 光学精密工程 2016年24卷第9期 页码:2271-2282
DOI: 10.3788/OPE.20162409.2271
录用:2016-6-21
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相关作者
任凯利
杜艺
段玉婷
徐咏
李思奇
刘继红
王国玺
李子文
相关机构
中国科学院 西安光学精密机械研究所 超快光科学与技术全国重点实验室
西安邮电大学 电子工程学院
重庆大学 光电工程学院 光电技术及系统教育部重点实验室
浙江理工大学 信息科学与工程学院
清华大学 机械工程系 摩擦学国家重点实验室&精密超精密制造装备及 控制北京市重点实验室


