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变耦型时栅传感器及测头姿态对测量误差的影响
微纳技术与精密机械 | 更新时间:2020-07-07
    • 变耦型时栅传感器及测头姿态对测量误差的影响

    • Variable coupling time grating sensor and effects of sensor-head attitudes on measuring errors

    • 鲁进 ,陈锡侯 ,汤其富 ,武亮
    • 光学精密工程 2016年24卷第9期 页码:2271-2282
    • DOI: 10.3788/OPE.20162409.2271     

      中图分类号:
    • 录用:2016-6-21 ,

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中国科学院 西安光学精密机械研究所 超快光科学与技术全国重点实验室
西安邮电大学 电子工程学院
重庆大学 光电工程学院 光电技术及系统教育部重点实验室
浙江理工大学 信息科学与工程学院
清华大学 机械工程系 摩擦学国家重点实验室&精密超精密制造装备及 控制北京市重点实验室