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主动补偿式超低干扰力矩气浮转台的设计
主动补偿式超低干扰力矩气浮转台的设计
Design of supper low disturbance torque air bearing table with active compensation
- 光学 精密工程 2016年24卷第10期 页码:2432-2441
DOI: 10.3788/OPE.20162410.2432
录用:2016-5-7
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相关作者
王富国
张岩
王洪浩
吕天宇
陈涛
王建立
曹玉岩
王荣坤 于作超 王杰
相关机构
中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所
中国科学院大学
华侨大学 信息科学与工程学院
华侨大学 信息科学与工程学院
长春光机所2. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所


