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主动补偿式超低干扰力矩气浮转台的设计
微纳技术与精密机械 | 更新时间:2020-07-07
    • 主动补偿式超低干扰力矩气浮转台的设计

    • Design of supper low disturbance torque air bearing table with active compensation

    • 刘延芳 ,刘兴富 ,齐乃明 ,张刘
    • 光学 精密工程 2016年24卷第10期 页码:2432-2441
    • DOI: 10.3788/OPE.20162410.2432     

      中图分类号:
    • 录用:2016-5-7 ,

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中国科学院大学
华侨大学 信息科学与工程学院
华侨大学 信息科学与工程学院
长春光机所2. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所