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MEMS硅半球陀螺球面电极成形工艺
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2020-07-07
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    • MEMS硅半球陀螺球面电极成形工艺

    • Development of spherical capacitive electrodes of MEMS silicon hemispherical gyros

    • 庄须叶 ，喻磊 ，王新龙 ，李平华 ，吕东锋 ，郭群英
    • 光学 精密工程 2016年24卷第11期 页码：2746-2752

    • DOI： 10.3788/OPE.20162411.2746     

      中图分类号：

    • 录用：2016-6-15 ，

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