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小特征尺寸连续位相板离子束修形的误差分析
高功率激光光学元器件 | 更新时间：2020-08-13
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    • 小特征尺寸连续位相板离子束修形的误差分析

    • Error analysis of ion beam figuring for fabrication of continuous phase plates with small feature structures

    • 徐明进 ，戴一帆 ，解旭辉 ，周林
    • 光学精密工程 2016年24卷第12期 页码：2975-2982

    • DOI： 10.3788/OPE.20162412.2975     

      中图分类号：

    • 录用：2016-12-5 ，

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