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大型环抛机蜡盘平面度的测量
大型环抛机蜡盘平面度的测量
Flatness measurement of pitch lap for large continuous polisher
- 光学精密工程 2016年24卷第12期 页码:3048-3053
DOI: 10.3788/OPE.20162412.3048
录用:2016-11-17
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崔长彩
车仁生
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哈尔滨工业大学自动化测试与控制系


