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大型环抛机蜡盘平面度的测量
高功率激光光学元器件 | 更新时间:2020-08-13
    • 大型环抛机蜡盘平面度的测量

    • Flatness measurement of pitch lap for large continuous polisher

    • 王哲 ,徐学科 ,邵建达 ,顿爱欢 ,杨明红 ,范永涛 ,方媛媛 ,高文兰 ,刘方
    • 光学精密工程 2016年24卷第12期 页码:3048-3053
    • DOI: 10.3788/OPE.20162412.3048     

      中图分类号:
    • 录用:2016-11-17 ,

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