随动压力分布下的非球面抛光去除函数

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随动压力分布下的非球面抛光去除函数

高功率激光光学元器件 | 更新时间：2020-08-13

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- 随动压力分布下的非球面抛光去除函数
- Tool influence function in aspheric polishing under dynamic pressure distribution
- 李徐钰，魏朝阳，徐文东，邵建达
- 光学精密工程 2016年24卷第12期页码：3061-3067
- 作者机构：
  中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
- 作者简介：
  李徐钰(1992-), 男, 江苏常州人, 博士研究生, 2014年于东南大学获得学士学位, 主要研究先进非球面制造与检测技术。E-mail:jsczlixuyu@sina.cn
  魏朝阳(1980-), 男, 副研究员, 硕士生导师, 2002年于郑州大学光电子技术专业获得学士学位, 2007年于中国科学院上海光学精密机械研究所获得博士学位, 现为中科院上海光学精密机械研究所在读博士研究生, 主要研究方向包括先进光学制造、检测技术和激光破坏等。E-mail:siomwei@siom.ac.cn WEI Chao-yang, E-mail:siomwei@siom.ac.cn
- 基金信息：
  中国科学院青年创新促进会科研基金资助项目；国家重大科技专项资助项目
- DOI： 10.3788/OPE.20162412.3061
  中图分类号：
- 录用：2016-11-17 ，
- 稿件说明：
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