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相变区纳米硅氧薄膜的微观结构及光学特性
相变区纳米硅氧薄膜的微观结构及光学特性
Microstructure and optical characteristics of nanocrystalline silicon oxide film in phase transformation zone
- 光学 精密工程 2017年25卷第4期 页码:850-856
DOI: 10.3788/OPE.20172504.0850
录用:2016-12-3
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