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相变区纳米硅氧薄膜的微观结构及光学特性
现代应用光学 | 更新时间:2020-07-07
    • 相变区纳米硅氧薄膜的微观结构及光学特性

    • Microstructure and optical characteristics of nanocrystalline silicon oxide film in phase transformation zone

    • 李晓苇 ,李云 ,郑燕 ,高东泽 ,于威
    • 光学 精密工程 2017年25卷第4期 页码:850-856
    • DOI: 10.3788/OPE.20172504.0850     

      中图分类号:
    • 录用:2016-12-3 ,

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