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基于类V型柔性铰链的微位移放大机构
基于类V型柔性铰链的微位移放大机构
Micro-displacement amplifier based on quasi-V-shaped flexure hinge
- 光学 精密工程 2017年25卷第4期 页码:999-1008
DOI: 10.3788/OPE.20172504.0999
录用:2017-1-16
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