王磊杰(1988-), 男, 河南周口人, 博士后, 助理研究员, 2010年于中国矿业大学(北京)获得学士学位, 2016年于清华大学获得博士学位, 主要从事基于扫描干涉光刻的大口径光栅制造技术、超精密光栅干涉仪位移测量技术和超精密激光干涉仪位移测量技术的研究。E-mail:wang-lj66@mail.tsinghua.edu.cn

张鸣(1973-), 男, 吉林扶余人, 副研究员, 1996年于北京科技大学获得学士学位, 1999年于中国运载火箭研究院13所获得硕士学位, 2005年于清华大学获得博士学位, 主要从事高端光刻机超精密工件台的研究, 涉及超精密工件台系统设计以及结构设计、超精密制造工艺、高性能驱动、超精密测量及超精密环境保障等工件台研发的核心技术。E-mail:zm01@mails.tsinghua.edu.cn ZHANG Ming, E-mail:zm01@mails.tsinghua.edu.cn