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采用马赫-曾德尔干涉法测量单晶硅在线应力损伤
信息科学 | 更新时间：2020-07-07
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    • 采用马赫-曾德尔干涉法测量单晶硅在线应力损伤

    • Measurement of real-time stress damage of monocrystal silicon by Mach-Zehnder interferometry

    • 吴春婷 ，李贺 ，蔡继兴 ，谭勇 ，金光勇
    • 光学 精密工程 2017年25卷第5期 页码：1395-1401

    • DOI： 10.3788/OPE.20172505.1395     

      中图分类号：

    • 录用：2016-10-18 ，

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