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3-PRR平面三自由度纳米定位平台的设计
微纳技术与精密机械 | 更新时间：2020-07-07
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    • 3-PRR平面三自由度纳米定位平台的设计

    • Design of 3-DOF planar nano-positioning platform with 3-PRR structure

    • 马立 ，杨斌 ，田应仲 ，肖金涛 ，华晓青 ，孙立宁
    • 光学 精密工程 2017年25卷第7期 页码：1866-1873

    • DOI： 10.3788/OPE.20172507.1866     

      中图分类号：

    • 录用：2017-2-17 ，

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