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纳米级精度的竖直液体静压滑台设计
纳米级精度的竖直液体静压滑台设计
Design for vertical liquid hydrostatic slide with nano-scale precision
- 光学 精密工程 2017年25卷第8期 页码:2121-2129
DOI: 10.3788/OPE.20172508.2121
录用:2017-4-14
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