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纳米级精度的竖直液体静压滑台设计
微纳技术与精密机械 | 更新时间:2020-07-07
    • 纳米级精度的竖直液体静压滑台设计

    • Design for vertical liquid hydrostatic slide with nano-scale precision

    • 董婉娇 ,李蓓智 ,杨建国
    • 光学 精密工程 2017年25卷第8期 页码:2121-2129
    • DOI: 10.3788/OPE.20172508.2121     

      中图分类号:
    • 录用:2017-4-14 ,

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