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非共振式压电直线电机精密驱动及定位控制
非共振式压电直线电机精密驱动及定位控制
Precision drive and position control of non-resonance piezoelectric stack linear motor
- 光学 精密工程 2017年25卷第8期 页码:2139-2148
DOI: 10.3788/OPE.20172508.2139
录用:2017-4-14
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