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微光机系统工程设计工具
微光机系统工程设计工具
Simulation tool for complex-engineered micro-optical electromechanical system
- 光学精密工程 2017年25卷第10s期 页码：120-129
DOI： 10.3788/OPE.20172513.0120
修回：2017-6-17
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